MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
哪些溅射靶材可用于热反射镀膜
锡溅射靶材
锡是一种柔软、有延展性、延展性和高度结晶的银白色金属。当一根锡条被弯曲时，可以从晶体的孪晶中听到一种被称为“锡哭”的噼啪声。锡在约 232 ℃（450 ℉）的低温下熔化，是第i 14 组中低的。对于 11 nm 标准，熔点进一步降低至 177.3 ℃（351.1 ℉）。
硅溅射靶材
硅溅射靶材主要用于反应磁控溅射以沉积介电层，例如SiO2和SiN。作为的功能性薄膜材料，它们具有良好的硬度、光学、介电性能和耐磨性。硅靶材的耐蚀性在光学和微电子领域具有广阔的应用前景，目前在范围内被广泛用作功能材料。目前主要用于LCD透明导电玻璃、建筑LOW-E玻璃、微电子行业。硅溅射靶材可分为单晶和多晶两种。我们通过 Czochralski 晶体生长法生产平面硅溅射靶材。
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先要提到的，就是整个机器运行的基础——电压。要想实现镀膜的过程，需要保证机器内部存有一定的压力，而且提高压力是能够实现离化率的提高的，这样就能更好的对于沉积的溅射物质的厚度进行控制。另一个需要注意的条件则是气压条件，气体的压强降低到某一个点是可以将溅射率提高的，而压强超过这一点可能就会出现溅射速率发生下降的情况，气压过低的时候等离子体就会不再运动了。所以说在磁控溅射镀膜的过程中，每一个条件都是不容忽视的。
那么想要入手磁控溅射镀膜机，该怎么办呢？步要做的实现选择一个靠谱的磁控溅射镀膜机企业。选择这样的企业不仅能够保证质量，还能在后续出现情况的时候在时间进行解决。而挑选企业可以从两方面入手，一方面是这个企业的创立时间，一个能够经得起时间和客户考验的企业是可靠的。
另一方面可以从公司曾经做过的工程来进行判断，如果一个公司做过的工程量多，可以确定是被很多客户信任的，而且如果有与自己的情况相似的就更好处理了。
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上一次小编带大家快速了解了电子束蒸发镀膜机，今天我们来聊一聊磁控溅射设备的主要用途有哪些？什么？你不知道什么是磁控溅射？
上一次小编提到了一个词是PVD，即物理气相沉积，电子束是PVD的一种，磁控溅射也一样。电子束一般用于对镀膜材料有高纯度高标准要求的领域，而磁控溅射一般的应用更日常一些，比如爷爷奶奶的半导体、常见的绝缘体材料、一些手机壳，这下不再觉得磁控溅射遥远了吧。而且磁控溅射的优点也很明显、很接地气：设备简单、易于操控、镀膜面积大等等。早在上世纪七八十年代，磁控溅射设备就完成低速高温低损伤。
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工件转动系统的问题：
（1）转速不对或者根本不转，一般这种情况下有三种可能：
一是工作转盘不转动：可能原因有，机械转动系统坏了、电机损坏、电压不正常。这种情况下我们可以调动系统使其灵活、检查电机绕组是否短路烧坏了、检查电机调速器的输出情况。
二是转速不可调节：可能原因有，调速器给定电压不正常以及调速器工作不正常。这种情况下我们可以检查调速器给定电压情况、检查给定电位器及其外部连接是否完好、检查调速器或更换。
三是转速不稳定：可能原因有，机械转动系统不平衡、电气接触不良、调速器参数发生变化。这种情况下我们可以检查并转动系统、检查给定电机及电速器连接是否完好、检查调速器或更换。
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以上信息由专业从事的半导体研究所于2023/2/3 15:47:49发布
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