XRD物相分析检测报告半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
x射线应力测定法优点和实际应用
优点
x射线应力测定法可以无损地测量构件中的应力或残余应力，特别适宜于测量薄层和裂纹的应力分布。是检验产品质量，研究材料强度，选用较佳工艺的一种重要手段。
实际应用测量
测定应力时，通常只要测量4～5个具有不同入射角（一般取0°、15°、30°45°、60°）的X射线的衍射角，作出 曲线，用Z小二乘法求出斜率，就可确定 。这就是用X射线测定应力的基本方法—— 法，其精度较高。此外，还有0°-45°法、单一倾斜法等。
曾经先后采用过照相法（由底片记录衍射环半径）和计数管法（由计数管记录衍射角，见图3），接收、记录X射线的衍射，如用电子计数器记录宽大衍射条纹的峰值强度位置时，可采用较的法和常用的半高法等。
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关于XRD图谱
1）衍射线宽化的原因
用衍射仪测定衍射峰的宽化包括仪器宽化、试样本身引起的宽化。试样引起的宽化又包括晶块尺寸大小的影响、不均匀应变（微观应变）和堆积层错（在衍射峰的高角一侧引起长的尾巴）。后二个因素是由于试样晶体结构的不完整所造成的。
2）半高宽、样品宽化和仪器宽化
样品的衍射峰加宽可以用半高宽来表示，样品的半高宽FWHM是仪器加宽FW（I）和样品性质（晶块尺寸细化和微观应力存在）加宽FW（S）的卷积。为了求得样品加宽FW（S），必须建立一个仪器加宽FW（I）与衍射角θ之间的关系，也称为FWHM曲线。 该曲线可以通过测量一个标样的衍射谱来获得。标样应当与被测试样的结晶状态相同，标样必须是无应力且无晶块尺寸细化的样品，晶粒度在25μm以上，如NISTA60Si和LaB6等。
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15.我以前通过慢扫数据得到比较好的源数据，但是我在用jade并利用R值法进行半定量操作时发现误差超过30%，产生这样的结果有哪些原因呢？
答：主要原因是PDF卡片的选取出了问题，通常同一物相会有多个PDF卡片与之对应，在选择卡片时是否准确？
16.在用Highscore进行半定量操作时，有没有什么标准去评判半定量是否准确？
答：没有普适的标准，可以通过其它表征手段进行旁证。或者可以自己往样品中掺入已知百分数的某种物质，比如掺入30wt%的刚玉，再进行半定量分析，看看分析结果中刚玉的含量与实际掺入量的差别有多大。
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20.jade没有剔除Ka2吗
有，右键单击BG图标，可以勾选是否剔除Ka2.一般默认是剔除的。
21.Highscore中的数据可以导入到origin里吗
不可以，highscore打开的格式需要转成TXT文本的才可以导入origin里面
22.老师您刚刚演示的例子r是15% 建议是5% 一般怎么界定呢
整体拟合的时候，数值不是一定的，拟合到数据不能继续变小或者红线平缓就可以不用继续拟合下去了。
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以上信息由专业从事XRD物相分析检测报告的半导体研究所于2023/1/29 10:16:54发布
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