XRD摇摆曲线检测平台半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
薄膜的XRD测试
有部分同学的研究可能会涉及到涂层薄膜的研究,比如在玻璃基底上生长电池材料薄膜,这种样品由于绝大多数都是多晶状态,而且厚度有限(通常从几十纳米到微米),如果用常规XRD方法测试,由于在衍射方向薄膜样品厚度非常小,导致参与衍射的晶面非常少,造成样品信号很难测出。
这时我们就需要采用掠入射X射线衍射(GIXRD)的办法对样品进行测试,掠入射XRD实质是通过X射线小角度照射样品,使更多的晶粒参与衍射,以弥补常规衍射方向厚度的不足,它使x射线束的穿透力被极大的限制,大大提高了分析样品的表面分析灵敏度,且能分析体积相对较大的样品。
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动力学衍射理论
Ewald的理论称为动力学理论。该理论考虑到了晶体内所有波的相互作用,认为入射线与衍射线在晶体内相干地结合,而且能来回地交换能量。两种理论对细小的晶体粉末得到的强度公式相同,而对大块完整的晶体,则必须采用动力学理论才能得出正确的结果。
布拉格方程
1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg,W.L.Bragg)在劳厄发现的基础,不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构,并提出了作为晶体衍射基础的公式──布拉格方程:2dsinθ=nλ
式中d为晶面间距;n为反射级数;θ为掠射角;λ为X射线的波长。布拉格方程是X射线衍射分析的根本依据。
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8.紧凑尤拉环测薄膜样品对薄膜样品尺寸的要求是什么呢
答:根据具体的尤拉环样品台的尺寸进行调整。
9.样品填充小尺寸是多少呢,有的样品槽很大?
答:装样品的时候没有小尺寸这种说法。如果样品量少,样品槽很大,尽量把样品装在样品槽的中心位置。
10.不同批次送样的是否会产生误差?(步长角度一样)是否要对比的样品同一批次送样好?
答:会有产生误差的可能。选择同一台仪器,并排除制样时的误差,如果两批样品送样间隔较长,或者两批样品中间恰好X射线衍射仪进行了维护,那么这两批测出来的结果会存在差别。建议需要做比较的一组样品,好在同一时间送样测试,这样才具有可比性。
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14.X射线为啥只选择ka2呢,是因为他波长比较小,能量高?
X射线是选择的能量大的Ka1特征谱线,不是Ka2,。因为他能量大所以选他。因为XRD是需要穿透物质内部达到原子级别的,所以能量大才可以,因此选能量大的Ka1特征谱线,其他两种谱线需要过滤掉。
15.如果样品少,没有填满,只是中心的处压实,有什么影响呢?
这样可能会测到基底,在低角度区域生成一个非晶漫散峰,所以是用不会产生非晶漫散峰的单晶硅片或者石英玻璃样品架来制样。
16.测量时间有没有上线
测试时间没有上限,测几天的都有。
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以上信息由专业从事XRD摇摆曲线检测平台的半导体研究所于2023/1/30 5:07:12发布
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