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分子泵机组耗电:
2.38kW×6720h=年耗电15993.60度×1元/度
=15993.60元原来的耗电:
8.8kW×6720h=年耗电59136度×1元/度
=59136元通过上述计算,几乎当年就能从电费一项收回投资费用:
59136-15993.60=43142.40元
第二年使用分子泵机组电费节约赢利43142.40元。
该分子泵近乎免维护,所以如果考虑维护费用,经济效益更可观。该分子泵替换运用的成功,为节能减排贡献巨大力量,做到了制造应用与双赢,并且拓展了分子泵的应用领域。其他好处除了节省成本以外,通过对分子泵替换的圆排车所制造的节能灯进行测试,灯具在产品寿命和质量上也得到明显提高,通过质谱分析,系统的油污染得到降低,光谱等分析都显示,应用分子泵排气制造的灯具性能有很大的改善。
与此同时,根据在其他多家特种灯(金卤灯、航标灯等)、车灯、半导体照明灯客户的实际应用反馈,分子泵对降低生产能耗、提高产品性能和使用寿命等方面都起到明显的促进作用。在部分国内外爱发科的照明生产企业中的应用,分子泵都得到好评和大量替换配套。结 语通过这个案例可以看出,将高压强分子泵机组直接用到圆排机上,实现了降耗节能、保证质量的目标,完全可以替代。
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超高真空抽气系统中的氢分压突然升高
1.泵体未经烘烤除气;
低于150℃长时间烘烤去气;
2.冷却水温过高或冷却系统故障使泵温升高。
冷却水温应低于14℃,运转中保证冷却系统正常工作。
油蒸汽返流
1.突然停电或停泵时,泵内没有及时充入干燥气体;
在泵转数降至很大转速的一半时,应及时充入干燥气体;
2.前级泵返流严重。
降低前级返油率。
谱拓不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵,同时还拥有各种旋片泵,干泵,谱拓泵,多级谱拓泵,氦质谱检漏仪,真空计,质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。推出了一款全新涡轮分子泵TwisTorr305,它继承了TwisTorr系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点,
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我国是世界很大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,公司积极响应国家需求,承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,多项关键技术,于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。
公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵,以其优越的性能,已广泛应用于工业过程、镀膜等领域,为半导体零部件国产化注入新活力。未来,公司将继续聚焦半导体产业发展需求,全力突破“卡脖子”技术难题,推动半导体设备零部件国产化,为中国集成电路发展持续贡献力量。
现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.
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以上信息由专业从事爱发科二手泵维修电话的潽拓光电于2024/3/29 12:26:40发布
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