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分流式分子泵应用于氦质检漏仪
涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵SplitFlow独立机械和真空结构设计,广泛应用于国内,国际
爱发科氦质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商,选用德国SplitFlow80分子泵集成于氦质谱检漏仪中.
分流式涡轮分子泵SplitFlow优点
紧凑设计,占地空间小
对所有气体的高抽吸能力和极高压缩比
集成分子泵控制器
防护类型IP54适合于工业用途
准S2和UL/CSA认证
运行数据监控保证分子泵运行安全性
涡轮分子泵应用于超高真空互联装置涡轮分子泵应用于超高真空互联装置
超高真空互联系统一般是通过RDC传样装置将不同的超高真空腔体连接起来,例如:快速进样室,样品生长腔,衬底制备腔,电子结构分析腔等,传样过程中保证超高真空量级的真空增量,超高真空互联系统很多可以连接8个腔体左右,极限真空好于1E-10mbar！
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ARPES光束线客户案例:某光源ARPES光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,及配套真空规.
真空系统要求(分子泵):
1.静态真空(无束流):5x10-8Pa,动态真空(有束流):
2.真空系统基本配置:离子泵+无油分子泵+冷阴极真空规管+气体分析仪超高真空系统配置:
涡轮分子泵
接口:DN100CF-F
极限真空:氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80
接口:DN63CF-F
极限真空:氮气压缩比:>1X1011残余气体分析仪PrismaPro
质量数:1-300amu
四极杆直径／长度:6/125mm
很大工作压力FhPa:5X10-4
涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>
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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。
使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的PT100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mT，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mT。
当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mT时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。
另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mT时，低大约40度）。
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以上信息由专业从事爱发科涡轮分子泵维修价格的潽拓光电于2024/4/23 13:09:46发布
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