广州潽拓光电科技有限公司--ULVAC高真空分子泵保养服务在线咨询出售;
在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5~10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽,如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏,这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致,重量小;
2.表面光滑容易清洁;
3.运行异常安静且振动低;
4.根据客户需要,干式隔膜泵可供选择的极限真空和抽气速度;
5.隔膜寿命长,高弹性的纤维增强型FKM隔膜(化学隔膜泵,耐腐蚀的PTFE三明治夹层结构隔膜);
6.内部气路连接件漏率低,长久运行依然能保持优异的真空性能。
螺杆泵作为前级泵的优势
1.无油;
2.无易损件;
3.无磨损;
4.抽速大可达10 m3/h,极限真空低至0.005 mbar;
5.一键启动,长期7×24 h稳定运行,维护成本低,无烦恼。
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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。如图464所示,当当前级压力升至1Pa时,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无法正常工作。
抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是,该变化比直线稍慢。这是因为,在旋转速度下,P较大的气体具有较大的速度比,因此叶片的Hoe系数较大,但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
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ARPES光束线客户案例:某光源ARPES光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,及配套真空规.
真空系统要求(分子泵):
1.静态真空(无束流):5x10-8Pa,动态真空(有束流):
2.真空系统基本配置:离子泵+无油分子泵+冷阴极真空规管+气体分析仪超高真空系统配置:
涡轮分子泵
接口:DN100CF-F
极限真空:氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80
接口:DN63CF-F
极限真空:氮气压缩比:>1X1011残余气体分析仪PrismaPro
质量数:1-300amu
四极杆直径/长度:6/125mm
很大工作压力FhPa:5X10-4
涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>
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传统的动平衡技术通过增加额外的质量,例如动平衡配重块,来减少质量分布的不均匀。质量动平衡借助机械加工流程而得到广泛使用,其中包括诸如磨削以及通过钻孔去除材料等工艺。在传统的动平衡过程中,转子的径向偏移是在轴承附近的两个测量层测量的。转子的不平衡度利用一种特殊的算法来确定。为了降低总不平衡程度,转子沿旋转轴分成多个平衡等级,每个等级都有相应的孔。
动平衡配重块沿着各平衡等级的圆周手动拧入。这样就降低了质量分布的不均匀,转子的剩余不平衡度被减少到所需的极限值以下。这里的不平衡度将在多种速度下确定,并逐步完成补偿,从而降低转子的振动并达到额定速度。
近些年来,涡轮分子泵的应用场景越来越多,许多制造领域以前常用低温泵和扩散泵来作为超高真空泵,目前已多被涡轮分子泵所取代。此外,随着相关应用领域对工作环境的要求越发严苛,对涡轮分子泵也提出了更高要求,特别是在次级特性方面。因此,高速转子一直需要进一步开发,包括转子的使用寿命、振动水平(即泵壳上发出的声响和振动),以及基于部件表面脱气性能方面的洁净度指标。
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以上信息由专业从事ULVAC高真空分子泵保养服务在线咨询的潽拓光电于2024/4/24 13:04:50发布
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