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分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德 首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，分子泵，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。 分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。分子泵公司主要提供各品牌分子泵电源，真空计，真空显示器，氦气检测仪，质谱仪的维修、保养、销售等服务。分子泵分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
这种泵具体可分为： （1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
（2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
（3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
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在正常工作时，可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。
启动系统要先接通冷却水流，打开前级管道阀门，再同时启动机械泵和涡轮分子泵。在泵加速到额定转速（一般为5到10min）后，就可加注液氮冷阱。此后就可按上节所介绍的步骤对真空室进行抽气。所给出的不用高真空阀门的抽气系统的操作，要比有阀门的抽气系统简便得多。操作时，先打开冷却水和前级管道阀，并同时启动机械泵和涡轮分子泵。如粗抽泵选择得当，使真空室的粗抽时间等于加速时间，那么真空系统就能在没有泵油蒸气返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2 不用阀门的涡轮分子泵抽气系统无阀门系统在放气和停机时，首先关闭前级管道阀，等泵转速下降到很大转速的50%时再在泵的上方充入干燥气体。当系统充到大气压时应关闭放气阀门，否则会造成真空室过压。然后按上述介绍的方法关掉机械泵并停掉冷却水。
没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作：先打开分子泵冷却系统和前级管路阀，并同时启动前级（粗抽）机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵（前级泵）选择得当，使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速（启动）时间，则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
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用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求，尤其是在需要更低振动和静音的应用中，该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。采用这项技术的相关真空泵非常适合用于质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。以电子显微镜为例：由于高真空法兰的振动很强烈（~20nm），导致高倍率下的图像模糊不清；而集成了这款涡轮分子泵之后，振动变得更低（~5nm），使电子显微镜能够获得更高分辨率的图像。
电子显微镜的两幅图像对比：配备了涡轮分子泵（右）比未配备涡轮分子泵（左）时的图像要更清晰
高度可靠的新型涡轮分子泵
除了应用更先进的技术之外，也承袭了真空涡轮分子泵安全、耐用、抗老化、重量轻、体积小巧等一系列优点。
·在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。
·在轴承方面，的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵具备更高可靠性。
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分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响？
今天，小编将向大家介绍分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响，希望对大家有所帮助。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种泵。分子泵是获得高和超高的关键设备之一。
它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高和超高环境。
分子泵是氦质谱检漏仪中获得高重要部位,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高泵与低泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。
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以上信息由专业从事爱发科进口泵保养费用的潽拓光电于2024/4/26 10:04:00发布
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