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inficon检漏仪维修店承诺守信「多图」

来源:潽拓光电 更新时间:2024-05-02 11:49:16

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶Σ-Δ调制器组成,利用0.25umCMOS技术制作成集成芯片,芯片有效面积约为2平方毫米,供电电压2.5V,功耗约为6mW。电路的灵敏度可以达到2.5V/pF,分辨率可达到4aF。为满足不同应用的需求,PérezSanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益,使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号,同时为解调器提供时钟信号,这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外,该电路中采用了片上电容阵列,可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umCMOS技术制造,供电电压为1.8V,能耗约为10mW。测试结果表明,电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化,灵敏度可达到0.3mV/fF,通过调节相关参数,灵敏度可达到1mV/fF。Awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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安装晶振的集成机箱 真空腔体压强测量与外壳检漏

有些器件需要在真空条件下工作,就要将这些器件密封在腔体中,这样腔体中压强要测量,外壳也需要捡漏,并要估计漏率的大小。因为石英晶振体积比较小,选用石英真空计测量压强是合适的。只要将石英晶振密封在腔体中,用两根引线引出腔体即可。腔体的漏率可以用以下公式计算:漏率Q=V×dp/dt,式中V是腔体体积,dp是在dt时间内压强的变化。

若初始压强为10Pa,存放两天后压强上升到20Pa,体积为2cm3,可算出漏率为1.2×10-10Pa.m3/S。如有漏,可用密封材料堵怀疑有漏的地方,若压强不再变化,说明漏洞就在这个地方。

市电供应困难的环境

测量几万伏高压处的压强,真空计的外壳要接高压火线,可用石英真空计来测量。因为石英真空计的功率小,可用电池供电,这样可将石英真空计及电池均放置在高压绝缘柱上。此外,由于石英真空计耗电小,不一定要交流220V供电,仅需要9V直流电池供电即可,这样它会在航天事业中获得应用。

▲石英真空计放置高压绝缘柱上

石英真空计的下限决定于石英晶振阻抗的漂移,而阻抗的漂移决定于石英晶振的结构及环境温度的变化。选择适当结构的晶振,可以获得较低的下限。石英真空计的优点是传感器体积小,功耗小,精度较高,量程较宽等,因此它将有广泛的应用。

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以上信息由专业从事inficon检漏仪维修店的潽拓光电于2024/5/2 11:49:16发布

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