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Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵
技术参数:入口法兰尺寸 VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸 KF40
抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2>107
极限压力 10-6 Pa (10-8 Torr)
允许的前级压力 200 Pa
大气流 N2 *(仅水冷) 3200 sccm
(5.41 Pam3s-1)
大气流 Ar *(仅水冷) 1000 sccm
(1.69 Pam3s-1)
额定速度 36500 rpm
运转到 90% 额定速度的时间 <8 分钟
固定位置 任何方向
输入电压 200-240 V
大输入功率(不带 TMS) 750 VA
重量 45 kg
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Edwards SCU-L301H-01
Edwards SCU-L301H-01 涡轮泵控制器是一种数字化的可控制器,对于中型泵具有的兼容性。新的AVR(自动减振)可进一步降低振动级别,而预维护调用功能可以提前通知准确的维护时间。
注重性的设计、增强的通信功能以及的兼容性大大节省了后备装置的开支,使总COO得以降低。
以上信息由专业从事爱德华涡轮泵E2M2保养维修的潽拓光电于2024/6/16 10:11:34发布
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