广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V1001r
目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段,很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手,当抽取一些活泼气体时,由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的,用在需要控制音量的场合,如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位,就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。
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分子泵轴承为什么会烧毁
原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘
解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
原因:防护网,前级管道
解决方法:优化系统设计
真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
原因:油池或密封不良
解决方法:检查油池
正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因:过热,负载大
解决措施:检查冷却系,检查系统
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测试过程
试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。
测试结果
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。
另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰,可提供 400 L/s 的抽速,对轻质气体可实现高压缩比,还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS),确保低振动和低噪音,适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。
404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。
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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比,同时支持高气体流速,从而能够通过 DN100 法兰以 400 L/s 的抽速在极低的极限压力下运行,同时可用于高通量应用无烃运行,可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 dB(A)),打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成免维护轴承,零运行成本通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制,以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计,无嵌入式电子设备,可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射,确保不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化,可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比
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性能指标H2 压缩比3 x 106冷却方法Air coolingWater cooling前级管道法兰尺寸KF 25 NW前级耐压 — N210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量10 m³/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s气体通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s;195 sccm气体通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s;367 sccm极限真空<1 x 10–10 mbar标准和认证61326-1
61010-1
DIR 2006/42/CE
DIR 2014/35/EU
DIR 2014/30/EU
DIR 2011/65/EU法兰类型DN 100贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 KRPM
以上信息由专业从事安捷伦Turbo-V1001r的潽拓光电于2024/7/3 8:48:28发布
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