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滑阀真空泵工作原理:
另一种典形的旋转真空泵为滑阀真空泵,泵壳内装一偏心的转子。转子上有若干槽,槽内有可以滑动的滑片。转子转地槽内的滑片向四周伸出,不与泵壳接触。气体于滑片与泵壳所包围的空间扩大的一侧吸入,于二者所包围的空间缩小的它侧排出。滑片真空泵所产生的低压可达0.06Pa。相比旋片真空泵运行更加稳定,耐用性更强。阿尔卡特进口泵维修
分子筛的吸附特性分子筛对于 H,ONHHSCO等性分子具有很高的亲和力,特别是对于水,即使在低分压力或低浓度、高温等十分苛刻的条件下,仍有很高的吸附容量。另外,与其它吸附剂相比,分子筛还有良好的热稳定性,吸附量饱和后可经加热处理使之恢复吸附能力。阿尔卡特进口泵维修
试验表明,分子筛在10Pa下的空气中,在700C 下加热 6h,其晶体结构可以无变化。但是,在 800C下加热不到 2h,分子筛便重新结晶而形成一种象白硅石般的结构。因此,必须强调指出,在应用分子筛时,其温度不能超过 600C。阿尔卡特进口泵维修
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涡轮分子泵的运用比较简便。其工作压力在 1Pa 左右,所以选用旋片式机械真空泵作前级泵即可。涡轮分子泵有一的中频电源,对泵内的中频电动机供电,接通中频电 源后,约在数分钟内,便可使泵的转速到达额定值。阿尔卡特涡轮分子泵维修
涡轮分子泵的额定转速因尺寸而异,一般在30000~50000r/min。泵内承受高速旋转的轴承,需要通以冷却水冷却。为达到泵的极限真空,应对被抽容器和泵体进行烘烤。因泵内的级间联接部分是用橡胶密封的,故泵体的烘烤温度不能超过110C。阿尔卡特涡轮分子泵维修
旋片式真空泵适用范围
气体类型: 常温无其它混合物的清洁干燥空气,不许有含其它粉尘及水分的空气。
工作要求: 进口压强在大于6500Pa时连续工作时间,不得超过3分钟以免喷油引起泵损。
工作要求: 进口压强在小于1330pa的条件下,允许长时期连续工作。阿尔卡特涡轮分子泵维修
环境温度: 真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对湿度的环境内使用。
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了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 高真空分子泵维修中心
冲击性检测对一批泵在运作和非运作标准下开展一系列检测,证实泵的耐冲击性。每一个泵遭受30–120g的瞬时速度,等同于从82公分/32英寸高坠落(处在非运作情况的泵)和从15厘米/6英寸高坠落(处在运作情况的泵)。在泵处在竖直、水准和倒立起来情况时,各开展6次冲击性检测所检测的泵在24次坠落后无一切难题(不产生转子机械设备触碰,泵运作情况不会改变)。在每一次坠落后认证泵的不平衡,结果显示转变很小,远小于阀值。高真空分子泵维修中心
涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高,可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度,其真空度高低视泵不同略有差异
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真空泵用的行业比较多,如医院里的消毒柜、啤酒行业、罐装饮料等地方。真空泵的形式比较多,一种是水环泵(以水位介质循环的),另外一种是干泵,像螺杆泵、罗茨泵。水环泵也叫粗泵,因为它对介质的要求比较广泛一些。像螺杆真空泵、罗茨泵,在电子行业用的比较多。阿尔卡特真空泵维修
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。半导体的各种生产工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行,因此对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。在半导体生产制造工艺中,分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备等。阿尔卡特真空泵维修
众所周知,腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的,温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。
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以上信息由专业从事Alcatel二手分子泵维修商家的潽拓光电于2025/3/28 11:33:09发布
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