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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力，例如在同样温度下，有些反应过程在大气中则难以进行，但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。
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直联旋片真空泵的返油
(1)真空泵的止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。
(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。
(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。
(4)真空泵的排气阀片损坏 ，应进行调换。
注：检查直联旋片真空泵的的极限真空，以压缩式shui银真空计为准
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要了解真空泵卡死的原因，我们首先要了解真空泵的结构，是有真空泵泵体（缸体，转子），油箱，油管，联轴器，电机（马达）等部分组成，真空泵是属于旋片式真空泵，有油式真空泵，无油真空泵两种，油式真空泵是用真空泵油来润滑的，真空泵油在旋片式真空泵里面不仅起润滑作用，还起到密封作用，真空泵的压力和流量都是要靠真空泵油的正常运转来保证的。真空泵油在运转时，通过真空泵油管把油箱里面的真空泵油带到泵体，在泵体里面运转后再通过回油管回流到油箱里面，因为真空泵运转时温度会达到70-105度，部分真空泵油会变成油气，随着尾气排到排气口，通过没有失效的油雾分离器（排气过滤器）过来下来，又回流到真空泵油箱里。要保证真空泵不因缺油而卡死，我们就要保证真空泵油油量要足，管道通畅，真空泵油不乳化，不产生淤泥能够在真空泵里面流动。
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在进行进口真空泵维修的时候，还有一个方面的因素是我们必须要注意的，那就是一定不能让自己的设备带着故障工作，因为这种不仅仅是会影响工作的效果，而且会有可能造成更加严重的后果。
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水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。涡旋分子泵
扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：
① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵
② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入
低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
干式真空泵常见故障：
液体侵入
灰尘堆积
抽取稀有贵重气体
在极限压力下运行
不当的温度波动
温度控制
*抽空
启动泵
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涡轮分子泵性能
泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为10~10;对氢为10~10;对分子量大的气体如油蒸气则大于10。
泵的极限压力为10Pa，工作压力范围为10~10Pa，抽气速率为几十到几千升每秒(1L=10m)。
涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面zui大尺寸的流态)下工作才能显示出它的性，因此要求配有工作压力为1~10Pa的前级真空泵。
分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。
不要长时间在高压力下工作
包括油旋片真空泵在内的好多粗真空泵都可以从大气压直接启动，但不代表它们可以长期在大气压或者比较差的真空下工作。旋片真空泵长时间在比较差的真空度下工作时，大量的润滑油会以油雾甚至油滴的形式从排气口喷出，造成·泵油损失；另外，真空度比较差时，真空泵发热也会比较严重。
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以上信息由专业从事普发分子泵TMH200维修的潽拓光电于2025/5/9 20:10:25发布
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