广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V6000真空泵维修
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
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油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生,防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
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分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
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许多设备在工作时都会产生磁场,比如,家用电冰箱的磁场强度约有10高斯(1mT),MRI 的磁场强度甚至会高达 3T;尽管可以采取屏蔽等措施,仍然可能会有外漏的杂散磁场,对工作在附近的分子泵产生不好的影响。
MACHINA中应用的真空产品
MACHINA 工作时需要稳定的真空环境,以避免高速粒子束和残留气体分子之间的任何相互作用,该项目设计团队选择了安捷伦的涡轮分子泵作为主泵。安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑,可以任意角度安装,而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动;对于一个紧凑便携的系统而言,这些特点至关重要。
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安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器使用无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3,在客户现场就可实现。现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户,可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3,来改善操作环境,降低使用成本,消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。
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涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。
广州潽拓光电科技有限公司推出全新HiPace 350 和 450 涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
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2012年推出,在M6系列基础上改进的第二代质谱仪器,选用普发新一代的分子泵,GC部分可用安捷伦的7890系列,灵敏度达到1pg八氟萘信噪比大于150:1,属当时国内。在应用方面,针对自来水水质检测项目,设计了专门的自动化软件,增强用户体验,降低对操作人员的要求,用户只需要简单操作就能获得结果
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安捷伦7200 GC-QTOF是一款高分辨质量数质谱系统,是目前业内市场一款GC-QTOF。其检测范围宽,可达3000D。目前主要应用于代谢组学、天然产物分析研究等领域中的未知化合物筛查。另外,在安捷伦展位还展示了与Intuvo气相色谱相联的7010B三重四极杆GCMS系统。
安捷伦7200 GC-QTOF是一款高分辨质量数质谱系统,是目前业内市场一款GC-QTOF。其检测范围宽,高可达3000D。目前主要应用于代谢组学、天然产物分析研究等领域中的未知化合物筛查。另外,在安捷伦展位还展示了与新Intuvo气相色谱相联的7010B三重四极杆GCMS系统。
以上信息由专业从事安捷伦Turbo-V6000真空泵维修的潽拓光电于2024/6/28 9:36:48发布
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