广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵维修维护
振动分析 在制造过程中以及泵运输前的测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平：0.4 m/s2。噪音测试 通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试 通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度，以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。
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分子泵控制器 “3D” 控制软件
早期的分子泵控制器又叫分子泵电源，其的功能是向分子泵供电；后来，改进型的控制器具备了一定的保护功能，可以监控分子泵的功率和温度，相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线，分子泵只能在这条线以下工作（2D），若超过这条线控制器就会报警停机。
与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到优性能的曲面上（3D），达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。
与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一个完整的系列。
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分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。
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油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生，防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏
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测试过程
试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ，泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行 12 个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为 2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到 7mT 。
测试结果
当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。
另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。
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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰，可提供 400 L/s 的抽速，对轻质气体可实现高压缩比，还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS)，确保低振动和低噪音，适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。
404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。
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有下面这些异常一定要尽早检修分子泵是高速旋转的机械，轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废；而当轴承工作状态不良时，会有一系列的现象，如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。
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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。
CombiNEG系列采用安捷伦科技（Agilent Technologies），StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。安捷伦真空（原瓦里安真空）是离子泵，赛斯是NEG吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自的技术和紧密的合作是这一革命性的产品问世的基础。
以上信息由专业从事安捷伦进口分子泵维修维护的潽拓光电于2024/6/30 10:09:48发布
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