广州潽拓光电科技有限公司——进口普发分子泵定期维修哪里有修真空泵的
单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样,其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积,以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下,轴端是密封的,是利用带水封环的填料进行密封处理的,其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的
PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent(VARIAN)、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪,及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F,出气法兰口DN16ISO-KF,抽速可达到60L/s, 转速为90000rpm,极限真空<1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.
当今,现代化的半导体行业中,越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜,表面分析仪器,残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外,在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,z近十几年来,涡轮分子泵,在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下,有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此,针对这种现状,对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。
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真空泵长期使用后,会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象,此时必须对真空泵维修、拆洗。
德国普发Pfeiffer 双极旋片真空泵Duo产品特点
1.双极旋片真空泵环保- 无油渗漏
2. 运行费用低- 无需维护轴封
3. 工作气体和环境之间无交换
4.双极旋片真空泵集成的高真空安全阀和气镇阀
5. 有丰富的附件可用于检测和系统集成
6. 可提供用于腐蚀性气体的型号
7.双极旋片真空泵单项、三项马达供选择
8. 设计紧凑,占地面积小,易于系统集成
9. 耐水汽,对于水蒸气也有较大的抽吸能力
10.低噪音设计
排气口设计的优良特性使容积压缩比和压力配合适当,提高了生产的效率,从而能降低操作费用。采用压力溢流式润滑,从而确保轴承及转动组件的润滑良好,延长了好凯德螺杆式真空泵的使用寿命。较低的生产成本,坚固的构造,较低的生产噪声,较高的可靠性,较低的真空泵维修保养费用等优势都是螺杆式真空泵的技术力量支持。
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广州潽拓光电科技有限公司——进口普发分子泵定期维修普发真空涡轮分子泵
每隔3-6个月的保养内容 :
1. 真空泵油 建议使用真空泵油。
2. 新泵浦初次使用500小时后更换泵油,以后每1000-1500工作小时更换一次。
3. 换油时先将油箱内的油放完,注入少量新油,开机半分钟后再将油放完,z后注入新泵油到规定油
位。旋片:使用周期1-2年左右(10小时/天)。
轴承:约1-2年更换(10小时/天)通常在大修保养时更换。
排气过滤器:更换周期3-6个月(10小时/天),或当排气口有喷油、冒烟的现象时更换。
进气过滤器:每周清洁一次,3个月更换。
其它:注意清洁泵体,风叶及风扇罩,确保泵浦通风散热。
普发真空推出全新 HiPace 350 和 450 涡轮分子泵,该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛,除了用于分析、真空工艺和半导体技术外,还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
7)真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
(8)真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
(9)真空泵的价格、运转及维修费用。
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以上信息由专业从事进口普发分子泵定期维修的潽拓光电于2025/3/9 18:57:15发布
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