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广州潽拓——维修PFEIFFER DUO 3
双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理
旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地
安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口
(4)。入口阀(如配置)被设计为真空安全阀,该阀在操作过程中始终处于打开状 态。
工作室 (5) 位于壳体内,并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶
片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时,气体流入扩大的吸入
室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩,直到出口阀冲破 大气压力
而开启。出口阀是油封的。当阀打开时,少量的油进入吸入室,不仅能够对其进行
润 滑,而且能够将叶片与壳体(定子)密封开来。
旋片式真空泵的工作原理
在气镇操作的情况下,一个孔向外侧打开,让气体流入前侧 的密封吸入室。因此,
在压缩抽吸阶段,在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始
冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无
气镇操作所达到的压力。
工作液、油
泵油,也称为工作液,在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动
部件,填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工
作室之间的间 隙,此外还通过热传递确保温度平衡。
多级泵
旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。
此外,气镇对极限压力的影响较低, 因为气镇仅允许在高压力级使用。
真空安全阀
根据所涉及的泵类型,旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意
外停顿的情况下将泵与真空室隔离, 并使用置换气体对泵系统进行排气,防止油液
上升到真空室 中。在开启泵后,一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力,它
稍作延迟就打开。
广州潽拓——普发分子泵控制器维修保养普发TMH 071P
除前级真空侧无油外,无磨损和免维护是另一个优势。在停电的情况下,通过泵的旋转能量为磁轴承供电。这使得停电 可以很容易地桥接数分钟。如果停电持续时间较长,通过使 用集成的安全轴承,转子将以非常低的速度安全停止。在系 统故障期间,安全轴承关闭转子,以避免对泵造成任何损坏。
电动机/驱动器
能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶片速度是泵送气体所必需的。
潽拓——普发分子泵控制器维修保养,分子泵
广州潽拓光电科技有限公司,德国普发Pfeiffer TMH 261分子泵现货供应 维修 销售
德国普发 PFEIFFER TMH261 分子泵维修成功实拍图:
PfeifferTMH 262对应的分子泵电源为Pfeiffer TC100,对应电压为24V DC, Pfeiffer TC100 ,可以驱动对应的分子泵有Pfeiffer TMH071, Pfeiffer TMU071, Pfeiffer TMH262,其输出为3相 24V 0-1500Hz的PWM 电压。
以上信息由专业从事普发分子泵控制器维修保养的潽拓光电于2025/3/15 12:49:56发布
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