广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养拆解
氦质谱检漏仪的工作原理是利用氦气分子在真空中扩散的特性，通过将氦气注入被检测物体内部或周围环境中，然后使用氦质谱仪检测周围环境中是否存在氦气，如果存在，则说明被检测物体存在漏洞或裂缝。因为氦气分子非常小，能够穿过非常小的漏洞或裂缝，因此氦质谱检漏仪能够检测到非常小的漏洞或裂缝。同时，氦气是一种非常稳定的气体，不会与其他物质发生反应，不会对被检测物体产生影响。
质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了
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真空技术一般由真空获得、真空测量、真空检漏、真空系统等部分内容组成。真空测量所述及的范围,要从大气压开始直至 10-"Pa 左右，跨越了十几个数量级。在这样宽广的玉力范围内，是不可能只用一种量计来完成的。于是目前已出现了近十种不同工作原理上百种不同类型的真空测量计具，简称真空计。
在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。
这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
皮拉尼型真空计性能特点
优点:
较大的测量范围
较好的重现性
制作成本较di，价格比较合适
较快的相应时间
缺点:
不同的气体类型影响测量精度(通常要以氮气或空气校准)
测量对污染敏感的
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电子碰撞气体分子时，有一部分为电离碰撞，电离后形成的正离子在阴极上打出的二次电子，也受电场和磁场的共同作用而参与这种运动，使电离过程连锁的进行，在很短时间内雪崩式地产生大量的电子和离子，这样就形成了自持气体放电(一般称为潘宁放电)。英福康真空计保养
直接测量真空计
这种真空计直接测量单位面积上的力，有：
1、静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。
2、弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。
氦质谱检漏仪使用氦气的低分子量和非常小的分子尺寸，通过难以被察觉的方式渗透到电池里面，然后使用氦质谱仪检测氦气分子是否从外部泄漏到电池壳体内部。如果检测到氦气分子到达时间的变化，就说明电池壳体存在泄漏或漏洞。
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以上信息由专业从事inficon英福康真空计保养拆解的潽拓光电于2025/4/1 13:27:12发布
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