广州潽拓光电科技有限公司——爱德华STP 300真空泵更换
Edwards 爱德华STP-iXA2205C磁悬浮分子泵维修
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品牌:EDWARDS爱德华 型号STP-iXA2205C
材质:不锈钢 原理:真空泵
真空度高:真空度 驱动方式:电动
功率:3306kw 极限压力:0-7 Pa-10-9 Pa
抽速可达到2200 L/s 泵轴位置:边立式
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nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。
根据应用可使用较小的前级泵。也可使用极限压力小于 5 mbar 的适用隔膜泵,例如 XDD1。
在此入口压力之上,旋转速度会降至低于标称速度。
功率限制设置为 160 W。
空气和水冷却附件须单独订购
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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以上信息由专业从事爱德华STP 300真空泵更换的潽拓光电于2025/3/15 17:36:14发布
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